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一种同步驱动PCVD沉积炉装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911054446.1
  • IPC分类号:C03B37/014
  • 申请日期:
    2019-10-31
  • 申请人:
    江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司
著录项信息
专利名称一种同步驱动PCVD沉积炉装置
申请号CN201911054446.1申请日期2019-10-31
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-04-07公开/公告号CN110963695A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B37/014IPC分类号C;0;3;B;3;7;/;0;1;4查看分类表>
申请人江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江区黎里镇越秀路888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏永鼎光纤科技有限公司,江苏永鼎股份有限公司当前权利人江苏永鼎光纤科技有限公司,江苏永鼎股份有限公司
发明人俞佳宾;李凡;眭立洪
代理机构苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙)代理人马刚强
摘要
本申请涉及一种同步驱动PCVD沉积炉装置,包括炉子、升降组件、开合组件和框架,所述升降组件设置在所述框架上,所述升降组件连接并驱动所述开合组件上下移动,所述开合组件包括第一安装板、固定在所述第一安装板上的第一电机和第一丝杠,所述开合组件还包括直角减速机和与所述直角减速机连接的传动轴,所述第一丝杠连接在所述传动轴上,所述第一电机输出端连接并驱动所述直角减速机进而带动所述传动轴转动,所述第一丝杠的第一丝杠轴在所述传动轴带动下向上或向下运动。本发明结构设计简单,加工和装配难度低,用机械同步代替电气同步,提高了传动的稳定性。

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