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一种气相沉积炉尾气除焦装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711409888.4
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2017-12-23
  • 申请人:
    烟台银河新材料有限公司
著录项信息
专利名称一种气相沉积炉尾气除焦装置
申请号CN201711409888.4申请日期2017-12-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-04-06公开/公告号CN107881482A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人烟台银河新材料有限公司申请人地址
山东省烟台市芝罘区只楚工业园华美街5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人烟台银河新材料有限公司当前权利人烟台银河新材料有限公司
发明人历建政
代理机构烟台双联专利事务所(普通合伙)代理人申国栋
摘要
本发明是一种气相沉积炉尾气除焦装置,排气主管道与排气副管道的连接处连接有接油箱;在排气主管道中设有外套有绝缘保护套的电阻加热管;还包括安装在排气主管道中绕电阻加热管螺旋设置的螺旋刮板,该螺旋刮板的后端通过轴承安装有从动齿轮;与从动齿轮相啮合的主动齿轮与电机传动连接。本发明能够有效地防止管道堵塞问题,大大缩短了拆卸管道清理时间并节约了维护成本,进一步确保设备在运行过程中不发生故障或造成安全事故。

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