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一种3DNAND存储器擦除时的电压控制方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911203481.5
  • IPC分类号:G11C16/14;G11C16/30;G11C16/04
  • 申请日期:
    2019-11-29
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称一种3DNAND存储器擦除时的电压控制方法及装置
申请号CN201911203481.5申请日期2019-11-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-04-10公开/公告号CN110993009A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G11C16/14IPC分类号G;1;1;C;1;6;/;1;4;;;G;1;1;C;1;6;/;3;0;;;G;1;1;C;1;6;/;0;4查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人曹华敏;付祥;姜柯;高帅;陈子龙;安阳;向斌;黄新运;张黄鹏;王颀
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人郭化雨
摘要
本发明提供一种3DNAND存储器擦除时的电压控制方法,在真存储单元的字线的偏置电压处于擦除控制电压时,将阱掺杂区的偏置电压上升至擦除工作电压并保持所述擦除工作电压,在阱掺杂区的偏置电压上升至第一中间电压期间,将伪存储单元的字线的偏置电压保持在第一预设电压,而后,将伪存储单元的字线设置为浮置状态,其中,第一预设电压小于第一中间电压,这样,减小伪存储单元所在的字线的电压与相邻的真存储单元所在的字线的电压差,避免在真存储器单元所在的字线和伪存储器所在的字线之间产生隧穿,从而避免伪存储器单元阈值电压漂移,避免存储器单元串电流的降低,进而避免真存储器单元的读错误。

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