热阴极高密度低能离子束生物改性设备

发明专利无效专利

申请号：
CN201610957840.6
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/08
申请日期：
2016-10-27
申请人：
合肥优亿科机电科技有限公司

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专利名称	热阴极高密度低能离子束生物改性设备
申请号	CN201610957840.6	申请日期	2016-10-27
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-22	公开/公告号	CN106531604A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;0;8查看分类表>
申请人	合肥优亿科机电科技有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区天达路2号安徽大学科技园内创新楼405 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥优亿科机电科技有限公司	当前权利人	合肥优亿科机电科技有限公司
发明人	滕海燕
代理机构	合肥天明专利事务所（普通合伙）	代理人	娄岳;金凯

摘要

本发明提供一种热阴极高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括沿进气方向依次布置在电离室内的加热丝、LaB6块状阴极和阳极，该电离室与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述线圈置于电离室的外侧，所述LaB6块状阴极激发出弧光放电等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。本发明所阐述的等离子体密度比市面上现有的辉光放电等离子体提高10~100倍，发射密度高，离子束束流密度高，效果明显，生物改性效率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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