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改进的光阻预烤炉移动销

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621115588.6
  • IPC分类号:G03F7/16;G02F1/13
  • 申请日期:
    2016-10-12
  • 申请人:
    李东明
著录项信息
专利名称改进的光阻预烤炉移动销
申请号CN201621115588.6申请日期2016-10-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6;;;G;0;2;F;1;/;1;3查看分类表>
申请人李东明申请人地址
中国台湾高雄市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人李东明当前权利人李东明
发明人李东明;小幡达夫
代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司代理人孙皓晨
摘要
本实用新型公开了一种改进的光阻预烤炉移动销,其以平移式圆周往返运动来支撑玻璃基板,能避免在玻璃基板上残留刮痕,以降低玻璃基板的不合格率。其主要由腔体、热板、驱动装置及移动销组成,该腔体为一容槽状,内设有热板及驱动装置,驱动装置上设有可移动的移动销,移动销贯穿热板的轨道沟并凸伸出热板,从而能利用驱动装置中的驱动器控制移动销进行平面移动,且同时支撑玻璃基板,使玻璃基板于烘烤时,该移动销不会持续接触到玻璃基板的同一点上,以防止产生销痕,进而提升玻璃基板的质量。

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