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相位掩模板自动切换装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410810498.8
  • IPC分类号:G02B6/02;G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-12-19
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称相位掩模板自动切换装置
申请号CN201410810498.8申请日期2014-12-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-03-25公开/公告号CN104459875A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/02IPC分类号G;0;2;B;6;/;0;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人叶青;王迪;李璇;蔡海文;瞿荣辉
代理机构上海新天专利代理有限公司代理人张泽纯;张宁展
摘要
一种用于相位掩模板写入法刻写光栅的相位掩模板自动切换装置,由相位掩模板旋转切换夹具、步进电机、驱动电路与控制系统构成,本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作,可实现光纤光栅的自动化刻写,并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。

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