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基片干燥装置

发明专利无效专利

申请号：
CN98805367.5
IPC分类号：--
申请日期：
1998-05-14
申请人：
施蒂格哈马技术股份公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基片干燥装置
申请号	CN98805367.5	申请日期	1998-05-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-06-21	公开/公告号	CN1257601
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	施蒂格哈马技术股份公司	申请人地址	联邦德国斯台恩费尔斯变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	施蒂格哈马技术股份公司	当前权利人	施蒂格哈马技术股份公司
发明人	K·维伯尔;U·施贝尔
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	崔幼平;章社杲

摘要

对于所提出的通过紫外线照射干燥基片盘(3)的设备，其中在照射过程期间，一个玻璃板(11)放置在基片盘(3)上利用简单的技术手段和采用简单的设备操作，通过一个升降的上部(6)得到或自行得到低废品率和成品基片盘的高品质，上部要落到放置在下部(23)上的基片盘(3)上。

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