正性光刻胶组合物的热处理方法

发明专利无效专利

申请号：
CN97192771.5
IPC分类号：--
申请日期：
1997-02-27
申请人：
克拉里安特国际有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	正性光刻胶组合物的热处理方法
申请号	CN97192771.5	申请日期	1997-02-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-06-02	公开/公告号	CN1218559
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	克拉里安特国际有限公司	申请人地址	英属维尔京群岛托尔托拉变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科莱恩金融(BVI)有限公司	当前权利人	科莱恩金融(BVI)有限公司
发明人	R·R·达梅尔;卢炳宏;M·A·斯巴克;O·阿利勒
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	黄泽雄

摘要

描述了用于重氮萘醌磺酸酯-酚醛清漆正性光刻胶的快速软烘烤方法，该方法提供了显著的优点。该方法优选在底抗反射涂层上使用比抗蚀剂普通软烘烤较高的温度(≥130℃)和很短的烘烤时间(≤30秒)。它明显地提高了光刻胶的分辨能力、工艺宽容度、热变形温度、抗蚀剂附着力和抗等离子体蚀刻性。如果使用了低反射率的基质或抗反射涂层，在不引起严重的驻波效应的情况下，在光刻工艺中也不需要后曝光烘烤步骤。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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