全息光栅及阴型光栅和复制光栅

发明专利无效专利

申请号：
CN00133647.9
IPC分类号：--
申请日期：
2000-11-30
申请人：
株式会社岛津制作所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	全息光栅及阴型光栅和复制光栅
申请号	CN00133647.9	申请日期	2000-11-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-08-29	公开/公告号	CN1310346
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本国京都市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	小枝胜;田中裕次;副岛章雄
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	黄永奎

摘要

一种全息光栅，其中相对在光致抗蚀层2上，按照大于所需槽的深度的值通过曝光方式形成的衍射光栅图形，沿与抗蚀图形的刻线方向相垂直，并且相对主板的法线方向的斜上的方向，借助按照O2/(CF4+O2)在0.1～0.9的比例范围而适当混合的CF4与O2的混合气体，进行蚀刻处理，直至光致抗蚀层2完全消失，直接在光学玻璃主板1上，刻线而形成所需深度的槽。该全息光栅具有耐久性，漫射光值优良，衍射效率较高，并且较宽波段的衍射变化较小。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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