一种真空室用降温装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201822106312.7
IPC分类号：F25D1/02;C23C14/00
申请日期：
2018-12-15
申请人：
湖南玉丰真空科学技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空室用降温装置
申请号	CN201822106312.7	申请日期	2018-12-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F25D1/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F25 制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化 F25D 冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置（冷藏陈列柜入A47F 3/04；家用绝热容器入A47J 41/00；冷藏车见B60至B64类的适当小类；一般隔热容器入B65D81/38；热传导、热交换或热贮存材料，即制冷剂，或通过化学反应而不是燃烧产生热或冷的材料入C09K 5/00；用于液化或固化气体的隔热容器入F17C；空气调节或空气增湿入F24F；制冷机器、装置或系统入F25B；仪器或类似装置的无冻结的冷却入G12B；发动机或泵的冷却见有关类） F25D1/00 应用天然冷空气或水的设备 F25D1/02 应用天然冷水，例如普通自来水	IPC分类号	F;2;5;D;1;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;0查看分类表>
申请人	湖南玉丰真空科学技术有限公司	申请人地址	湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南玉丰真空科学技术有限公司	当前权利人	湖南玉丰真空科学技术有限公司
发明人	舒逸;刘光斗;李赞
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种真空室用降温装置，包括底板、盖板、水冷管，所述底板通过固定柱安装在真空室壁上，在底板朝向真空室一面开有S型迂回弯曲的水冷槽，水冷槽均匀分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通过密封装置密封，盖板通过螺栓固定在底板上并封住水冷管。本实用新型通过均匀分布的水冷管来降低盖板的温度，通过间接吸收热量的方式来吸收基片表面的温度以达到降温的目的，吸热更加均匀，盖板同时可对水冷管起到保护作用，安装时整体安装，安装维护方便，安装维护时不会有冷却水进入真空室。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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