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一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法和装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410475472.2
  • IPC分类号:C01B33/107
  • 申请日期:
    2014-09-17
  • 申请人:
    新特能源股份有限公司
著录项信息
专利名称一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法和装置
申请号CN201410475472.2申请日期2014-09-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-13公开/公告号CN105480980A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/107IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人新特能源股份有限公司申请人地址
新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新特能源股份有限公司当前权利人新特能源股份有限公司
发明人郭增昌;刘兴平;吕学谦
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人罗建民;邓伯英
摘要
本发明公开了一种三氯氢硅生产得到的渣浆处理方法和装置,该方法包括以下步骤:将三氯氢硅生产得到的渣浆过滤,所述过滤得到的液态物质为液态氯硅烷,所述过滤得到浓渣浆;所述浓渣浆再经过雾化处理,再过滤得到气态物质,该气态物质冷凝得到液态氯硅烷,所述再过滤得到的固态物质为滤渣。该方法渣浆处理后得到的液态氯硅烷中不含有氯化铝,避免了处理过程使用碱液造成的碱液和氯硅烷的浪费以及产生二次污染,避免了现有技术三氯氢硅生产得到的渣浆处理中水解产生易燃易爆气体的安全隐患,本发明中的处理方法简单,氯硅烷的回收率达到了98%以上,更加完善了多晶硅生产工艺,节能降耗效果可观,且处理成本大大降低。

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