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固晶机及其真空吸取支架

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420098847.3
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2014-03-05
  • 申请人:
    先进光电器材(深圳)有限公司
著录项信息
专利名称固晶机及其真空吸取支架
申请号CN201420098847.3申请日期2014-03-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人先进光电器材(深圳)有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区横岗镇大福新村毅帮工业区3号厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人先进光电器材(深圳)有限公司当前权利人先进光电器材(深圳)有限公司
发明人梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌
代理机构深圳市博锐专利事务所代理人张明
摘要
本实用新型提供了一种固晶机及其真空吸取支架,其中支架包括吸气嘴、固定板及吸片板;所述固定板与吸片板层叠设置,于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔,所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔,固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘,本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构,且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。

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