一种蚀刻方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510078773.6
IPC分类号：C23F1/02;C23F1/16
申请日期：
2015-02-13
申请人：
河源西普电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种蚀刻方法
申请号	CN201510078773.6	申请日期	2015-02-13
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-03	公开/公告号	CN104674220A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/02 局部蚀刻	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;2;;;C;2;3;F;1;/;1;6查看分类表>
申请人	河源西普电子有限公司	申请人地址	广东省河源市高新技术开发区科八路富民工业园A区B厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河源西普电子有限公司	当前权利人	河源西普电子有限公司
发明人	何荣特
代理机构	广州凯东知识产权代理有限公司	代理人	罗丹

摘要

本发明公开了一种蚀刻方法，包括以下步骤：步骤一：提供待蚀刻的基板，并对基板进行清洗；步骤二：在基板表面网印液态光致抗蚀油墨，用以遮蔽不需要蚀刻的部分，并进行干燥、曝光、显影、水洗、干燥；步骤三：将基板放入蚀刻机，蚀刻的温度为20-35℃；步骤四：去除保护层，水洗，干燥得到成品。本发明的蚀刻方法采用过氧化氢、过硫酸铵、氨基酸、磷酸、磷酸铵、去离子水作为蚀刻液，采用光致抗蚀油墨作为保护层，原料易得、价格便宜、抗蚀性也好、去膜方便，本发明的蚀刻方法蚀刻速度快、蚀刻效果好、蚀刻完全且均匀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102345125A	2012-02-08	2010-07-28	一种金属基材表面形成多层次图案的方法无效专利	比亚迪股份有限公司
2	CN101440492A	2009-05-27	2008-12-09	一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺无效专利	彩虹集团电子股份有限公司
3	CN103374725A	2013-10-30	2013-06-27	铝板化学蚀刻工艺无效专利	天长市京发铝业有限公司
4	CN102102205A	2011-06-22	2009-12-17	镁锂合金的表面蚀刻方法无效专利	安禾耐金科技股份有限公司
5	CN1566400A	2005-01-19	2003-06-25	银合金蚀刻液失效专利	铼宝科技股份有限公司

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN106283055A	2016-08-31	2016-08-31	一种印刷板的蚀刻方法无效专利	河源西普电子有限公司

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