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金属嵌入光罩及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310415053.5
  • IPC分类号:G03F1/68
  • 申请日期:
    2013-09-12
  • 申请人:
    李永春
著录项信息
专利名称金属嵌入光罩及其制造方法
申请号CN201310415053.5申请日期2013-09-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-03-26公开/公告号CN103676467A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F1/68IPC分类号G;0;3;F;1;/;6;8查看分类表>
申请人李永春申请人地址
中国台湾台南市永康区小东路685巷8-22号13楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人李永春当前权利人李永春
发明人李永春;张哲玮;谢易达;颜志男
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人许静;黄灿
摘要
本发明的题目是一种金属嵌入光罩及其制造方法。金属嵌入光罩的制造方法包括:将至少一金属材料形成于基板上,基板具有多个凸部突出于基板的表面,各凸部具有多个侧面及顶面,侧面连接顶面与表面,金属材料形成于顶面及表面;贴附软性膜材于基板的顶面;以及使软性膜材从顶面脱离而将位于顶面的金属材料部分移除。本发明的金属嵌入光罩的制造方法制程简易且大幅降低成本,并且本发明的金属嵌入光罩的金属材料不会形成在凸部的顶面,因而避免金属材料所形成的金属层与另一基板摩擦,能延长光罩的使用寿命。

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