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一种双位快速存储器结构及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN01130310.7
  • IPC分类号:H01L21/8239;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/112
  • 申请日期:
    2001-11-20
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称一种双位快速存储器结构及其制造方法
申请号CN01130310.7申请日期2001-11-20
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-05-28公开/公告号CN1420549
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8239
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;9;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;6;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0;5;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;2查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
台湾省新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人张国华
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人马莹;邵亚丽
摘要
本发明是提供一种双位快速存储器结构及其制造方法。该方法是先在一硅基底表面形成一栅极氧化层,然后在该栅极氧化层表面形成一多晶锗化硅层。随后进行一离子注入制程,在该多晶锗化硅层中形成至少一绝缘区域,以分隔该多晶锗化硅层成两个相互不连续的导电区域,形成一双位结构。接着在该多晶锗化硅层表面形成一介电层,并进行一黄光暨蚀刻制程以蚀刻部分的该介电层以及该多晶锗化硅层,形成该双位快速存储器的浮动栅极。最后在该浮动栅极上形成一控制栅极。

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