具有可变扫描频率的离子植入机

发明专利有效专利

申请号：
CN200780010801.4
IPC分类号：H01J37/02;H01J37/147;H01J37/317;H01J37/302;H01L21/265
申请日期：
2007-03-23
申请人：
瓦里安半导体设备公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有可变扫描频率的离子植入机
申请号	CN200780010801.4	申请日期	2007-03-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-04-15	公开/公告号	CN101410929
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;2;;;H;0;1;J;3;7;/;1;4;7;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;3;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;5查看分类表>
申请人	瓦里安半导体设备公司	申请人地址	美国麻萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瓦里安半导体设备公司	当前权利人	瓦里安半导体设备公司
发明人	约瑟·C·欧尔森;摩根·艾文斯
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	寿宁

摘要

一种具有可变扫描频率的离子植入机包括离子束产生器，其产生离子束；扫描器，其沿至少一方向以一扫描频率对所述离子束进行扫描；及控制器。所述控制器根据所述离子植入机的操作参数控制所述扫描频率，所述操作参数至少部分取决于所述离子束的能量，若所述能量高于能量阀(threshold)值，则所述扫描频率高于扫描频率阀值，若所述能量低于所述能量阀值，则所述扫描频率低于所述扫描频率阀值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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