液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02120671.6
IPC分类号：--
申请日期：
2002-05-28
申请人：
友达光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法
申请号	CN02120671.6	申请日期	2002-05-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-12-24	公开/公告号	CN1462900
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	友达光电股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	友达光电股份有限公司	当前权利人	友达光电股份有限公司
发明人	来汉中
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陶凤波;侯宇

摘要

一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成数据线。第二道掩膜在覆盖一层低介电常数绝缘层后，用于其中形成暴露出数据线表面的接触孔开口。第三道掩膜在低介电常数绝缘层上形成像素电极，以及连接源极与数据线的导线。第四道掩膜用于定义在像素电极和导线上的金属层/绝缘层/半导体层/n型掺杂层，以形成栅极线和薄膜晶体管。第五道掩膜用于定义保护层。

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