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非球面镜衍射图像检测方法与装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710034360.3
  • IPC分类号:G01M11/02
  • 申请日期:
    2007-01-31
  • 申请人:
    中国人民解放军国防科学技术大学
著录项信息
专利名称非球面镜衍射图像检测方法与装置
申请号CN200710034360.3申请日期2007-01-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-09-12公开/公告号CN101034034
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/02IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人中国人民解放军国防科学技术大学申请人地址
湖南省长沙市砚瓦池正街47号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国人民解放军国防科学技术大学当前权利人中国人民解放军国防科学技术大学
发明人李圣怡;戴一帆;胡晓军;吴宇列;郑子文;陈善勇
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种非球面镜衍射图像检测方法和装置,它包括五自由度运动调整平台以及装设于平台上的CCD相机、激光点光源、半透半反镜以及被测非球面镜、含有面形重构算法程序的主控计算机。利用CCD相机,以被测镜定点曲率半径为原点,拍摄不同位置上离焦衍射光强图片,并记录位置参数,将拍摄的衍射光强图片、位置参数以及被测镜相关参数输入计算机,由计算机按镜面面形重构算法,对拍摄到的多幅衍射图像进行波面重构计算,得到被测镜面的面形误差分布,从而实现低成本、高精度、高效率的非球面镜中高频误差检测。

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