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一种钢带光栅的刻划缺陷检测装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410803296.0
  • IPC分类号:G01N21/88;G01B11/00
  • 申请日期:
    2014-12-22
  • 申请人:
    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
著录项信息
专利名称一种钢带光栅的刻划缺陷检测装置
申请号CN201410803296.0申请日期2014-12-22
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2015-04-22公开/公告号CN104535579A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/88IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请人地址
吉林省长春市东南湖大路3888号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所当前权利人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人孙竹;孙强;吴宏圣;李灿
代理机构长春菁华专利商标代理事务所代理人刘慧宇
摘要
一种钢带光栅的刻划缺陷检测装置,属于光学检测技术领域,为准确地评估钢带光栅刻划缺陷情况,该装置为:标准玻璃光栅驱动模块带动标准玻璃光栅在测量方向上滑动;信号探测头驱动模块带动信号探测头移动;光源发出的光经准直透镜准直后变成平行光,平行光经同轴光镜头照射到待测钢带光栅上,平行光被待测钢带光栅反射后经同轴光镜头透射至标准玻璃光栅上,平行光被待测钢带光栅及标准玻璃光栅调制后入射到光电探测器上,光信号经过光电探测器转为电信号,电信号被信号处理模块进行放大和A/D转换,脉冲检测模块将信号处理模块传输的电信号转化为脉冲信号。

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