一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板

1.一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：包括呈箱体结构的载板本体（100），载板本体（100）的内部开设有空腔，且载板本体（100）的顶面为承载板（110），承载板（110）沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区（111），其中载板本体（100）的内部空腔内设置有加热丝（200），加热丝（200）与放片区（111）的位置相对应，且加热丝（200）的两端分别连接有正电极（210）和负电极（220），正电极（210）和负电极（220）也安装于载板本体（100）的内部空腔内。
2.根据权利要求1所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：每个放片区（111）沿长度方向均匀间隔设置有多个放片位（101），其中加热丝（200）呈矩形波状结构，且加热丝（200）穿插设置在相邻放片位（101）之间。
3.根据权利要求2所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：载板本体（100）的长度方向两端设置有与载板本体（100）的内部空腔相连通的连接板（120），连接板（120）包括与载板本体（100）相连的支撑条（123），支撑条（123）沿竖直方向延伸，且支撑条（123）内部安装有正电极（210）或负电极（220）。
4.根据权利要求3所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：所述支撑条（123）的上下两端分别向外侧水平延伸设置有上连接条（122）和下连接条（124），上连接条（122）、下连接条（124）与支撑条（123）共同构成了U型槽（121）。
5.根据权利要求1‑4任一一项所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：加热丝（200）和正电极（210）、负电极（220）均是通过多个卡扣（300）结构固定在承载板（110）底部。
6.根据权利要求5所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：卡扣（300）包括第一扣体（310）和第二扣体（320），其中第二扣体（320）固定在承载板（110）底部，所述第一扣体（310）和第二扣体（320）的一侧通过弹性连接件（330）相连，第一扣体（310）和第二扣体（320）的另一侧分别设置有相互配合卡接的第一卡件（340）和第二卡件（350），所述弹性连接件（330）的弹力使得第一卡件（340）和第二卡件（350）具有相互远离的趋势。
7.根据权利要求6所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：弹性连接件（330）呈V字型结构，其中弹性连接件（330）包括呈V字型结构的第一连接部（331）和第二连接部（332），第一连接部（331）和第二连接部（332）之间光滑过渡，且第一连接部（331）和第二连接部（332）分别与第一扣体（310）和第二扣体（320）相连。
8.根据权利要求7所述的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，其特征在于：第一卡件（340）和第二卡件（350）结构相同，且对称设置，其中第一卡件（340）包括与第一扣体（310）相连的竖直段（31），竖直段（31）的端部设置有向外延伸的卡接段（32），卡接段（32）呈挂钩形状，第二卡件（350）包括与第二扣体（320）相连的竖直段（31），竖直段（31）的端部设置有向内延伸的卡接段（32），第一卡件（340）和第二卡件（350）上的卡接段（32）相互卡合。

一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板\n技术领域\n[0001] 本实用新型属于PVD载板技术领域，更具体地说，涉及一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板。\n背景技术\n[0002] 目前，光伏行业中，通用的PVD载板基本是不绣钢耐高温载板，在生产中，载板作为辅料，起到托起基片运行的作用。但在过程使用中会累积过后的ITO，ITO是一种N型材料，是一种疏松多孔的结构，ITO的厚度达到一定程度，容易吸附空气中的水汽。在实际生产过程中，因停机PM或者维修时，PVD载板恢复常温，载板携带大量水汽，进入工艺腔体，影响电池性能，同时可能带来靶材结瘤等问题。因此，急需设计一款适用于太阳能电池的自热式PVD载板，能够有效杜绝载板携带水汽进入工艺腔体。\n[0003] 经检索，关于太阳能电池硅片臭氧处理的相关技术应用已有部分专利公开，如中国专利申请号为：2013107506359，公开了一种PVD去气加热腔，包括腔体、多块反射板、支撑装置、加热装置与冷却装置；腔体起屏蔽作用，包括侧壁、第一密封盖与第二密封盖；侧壁围成中空筒，第一密封盖与第二密封盖分别置于中空筒的两端开口上，围成一个封闭的空腔；\n反射板置于空腔的内壁上；多块反射板分别布置在侧壁、第一密封盖与第二密封盖上；支撑装置置于空腔内，并固定于第一密封盖上，支撑装置用于承载基片；加热装置置于空腔内，并固定于第二密封盖上，加热装置用于加热基片；冷却装置中通入冷却水，用于快速地降温，避免加热不均和产生无源热源。\n实用新型内容\n[0004] 1、实用新型要解决的技术问题\n[0005] 针对上述问题，本实用新型提供了一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，能够使载板保持一定的温度，防止水汽冷凝吸附在载板上，有效杜绝水汽进入工艺腔体，大幅度提高电池片的性能，稳定产线效率，同时延长载板使用的周期，降低载板清洗费用，大大降低了生产成本。\n[0006] 2、技术方案\n[0007] 为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。\n[0008] 本实用新型的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，包括呈箱体结构的载板本体，载板本体的内部开设有空腔，且载板本体的顶面为承载板，承载板沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区，其中载板本体的内部空腔内设置有加热丝，加热丝与放片区的位置相对应，且加热丝的两端分别连接有正电极和负电极，正电极和负电极也安装于载板本体的内部空腔内。\n[0009] 作为本实用新型更进一步的改进，每个放片区沿长度方向均匀间隔设置有多个放片位，其中加热丝呈矩形波状结构，且加热丝穿插设置在相邻放片位之间。\n[0010] 作为本实用新型更进一步的改进，载板本体的长度方向两端设置有与载板本体的内部空腔相连通的连接板，连接板包括与载板本体相连的支撑条，支撑条沿竖直方向延伸，且支撑条内部安装有正电极或负电极。\n[0011] 作为本实用新型更进一步的改进，所述支撑条的上下两端分别向外侧水平延伸设置有上连接条和下连接条，上连接条、下连接条与支撑条共同构成了U型槽。\n[0012] 作为本实用新型更进一步的改进，加热丝和正电极、负电极均是通过多个卡扣结构固定在承载板底部。\n[0013] 作为本实用新型更进一步的改进，卡扣包括第一扣体和第二扣体，其中第二扣体固定在承载板底部，所述第一扣体和第二扣体的一侧通过弹性连接件相连，第一扣体和第二扣体的另一侧分别设置有相互配合卡接的第一卡件和第二卡件，所述弹性连接件的弹力使得第一卡件和第二卡件具有相互远离的趋势。\n[0014] 作为本实用新型更进一步的改进，弹性连接件呈V字型结构，其中弹性连接件包括呈V字型结构的第一连接部和第二连接部，第一连接部和第二连接部之间光滑过渡，且第一连接部和第二连接部分别与第一扣体和第二扣体相连。\n[0015] 作为本实用新型更进一步的改进，第一卡件和第二卡件结构相同，且对称设置，其中第一卡件包括与第一扣体相连的竖直段，竖直段的端部设置有向外延伸的卡接段，卡接段呈挂钩形状，第二卡件包括与第二扣体相连的竖直段，竖直段的端部设置有向内延伸的卡接段，第一卡件和第二卡件上的卡接段相互卡合。\n[0016] 3、有益效果\n[0017] 相比于现有技术，本实用新型的有益效果为：\n[0018] （1）本实用新型的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，将现有的单片载板的结构改为带有空腔的箱体结构，并在该空腔内安装一种快速加热的加热丝，在停机及维护时，通过在正电极和负电极的加热后，加热丝开始工作，将载板本体加热到一定温度，载板本体保持一定温度，防止水汽冷凝，吸附在载板本体顶部的承载板上，有效杜绝水汽进入工艺腔体，大幅度提高电池片的性能，稳定产线效率，同时延长载板使用的周期，降低载板清洗费用，大大降低了生产成本。\n[0019] （2）本实用新型的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，通过在载板内部加热，实现从内向外加热，温度更加均衡，加热效果好，同时矩形波状结构的加热丝分布能够实现均匀升温，且升温速度较快，可行性好。\n[0020] （3）本实用新型的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，结构简单，容易实施，可以在现有载板上面进行实施，在提产提速，降本增效的前提下，提高载板使用寿命，降低载板清洗费用，改善后的载板，在使用中比较便捷，较常规载板有明显优势，可以提高载板使用寿命，减少载板在清洗的次数，降低了清洗费用。\n附图说明\n[0021] 图1为本实用新型的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板的俯视结构示意图；\n[0022] 图2为图1的正视结构示意图；\n[0023] 图3为本实用新型中卡扣的结构示意图。\n[0024] 图中的标号为：\n[0025] 100、载板本体；100、承载板；111、放片区；101、放片位；120、连接板；121、U型槽；\n122、上连接条；123、支撑条；124、下连接条；130、支撑柱；200、加热丝；210、正电极；220、负电极；300、卡扣；310、第一扣体；320、第二扣体；330、弹性连接件；331、第一连接部；332、第二连接部；340、第一卡件；350、第二卡件；31、竖直段；32、卡接段。\n具体实施方式\n[0026] 为进一步了解本实用新型的内容，结合附图对本实用新型作详细描述。\n[0027] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。\n[0028] 下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。\n[0029] 实施例1\n[0030] 现有的PVD载板在使用一定时间后，PVD载板上会积聚一定厚度的ITO，在停机PM或者维修过程中，PVD载板恢复常温，会导致PVD载板携带大量水汽进入工艺过程，在高温及Plasma过程中，水汽会分离出H+，参与靶材中铟的沉积过程，大大降低电池性能。因此，为解决现有技术中存在的难题，本实施例的一种适用于太阳能电池的自热式PVD载板，包括呈箱体结构的载板本体100，载板本体100的内部开设有空腔，且载板本体100的顶面为承载板\n110。所述承载板110沿宽度方向均匀间隔设置有多个放片区111，其中载板本体100的内部空腔内设置有加热丝200，加热丝200与放片区111的位置相对应，加热丝200的两端分别连接有正电极210和负电极220，正电极210和负电极220也安装于载板本体100的内部空腔内，能够有效避免与载板本体100发生干涉，保证产线的顺畅。将现有的单片载板的结构改为带有空腔的箱体结构，并在该空腔内安装一种快速加热的加热丝200，在停机及维护时，通过在正电极210和负电极220的加热后，加热丝200开始工作，将载板本体100加热到一定温度，载板本体100保持一定温度，防止水汽冷凝，吸附在载板本体100顶部的承载板110上，有效杜绝水汽进入工艺腔体，大幅度提高电池片的性能，稳定产线效率，同时延长载板使用的周期，降低载板清洗费用，大大降低了生产成本。\n[0031] 本实施例中每个放片区111沿长度方向均匀间隔设置有多个放片位101，其中加热丝200呈矩形波状结构，且加热丝200穿插设置在相邻放片位101之间。具体地，如图1和图2所示，加热丝200安装在载板本体100的内部空腔内，其位置与放片区111相对应，即每个放片区均设有一个加热丝200，加热丝200位于放片区111的底部用于对整体载板进行均匀加热，其中加热丝200的从放片区111的左侧开始，呈矩形波结构穿插设于相邻放片位101之间，直至将放片区111全部覆盖。通过在载板内部加热，实现从内向外加热，温度更加均衡，加热效果好，同时矩形波状结构的加热丝200分布能够实现均匀升温，且升温速度较快，可行性好，通过加热丝200的加热，使得载板具有一定温度后，吸附水汽能力会大大降低，从而有效提高载板的使用周期，降低载板的清洗费用。\n[0032] 如图2所示，本实施例中载板本体100的长度方向两端设置有与载板本体100的内部空腔相连通的连接板120，连接板120包括与载板本体100相连的支撑条123，支撑条123沿竖直方向延伸，且支撑条123内部安装有正电极210或负电极220，通过在支撑条123内部的电极加热后，加热丝200工作，将载板加热到一定温度，载板保持一定温度，防止水汽冷凝吸附在载板上，提高产线效率。具体地，如图2所示，本实施例中载板本体100的左侧支撑条123内部安装有正电极210，载板本体100的右侧支撑条123内部安装有负电极220。所述支撑条\n123的上下两端分别向外侧水平延伸设置有上连接条122和下连接条124，上连接条122、下连接条124与支撑条123共同构成了U型槽121。\n[0033] 本实施例中加热丝200和正电极210、负电极220均是通过多个卡扣300结构固定在承载板110底部，方便更换和安装电热丝200和正电极210、负电极220。其中卡扣300包括第一扣体310和第二扣体320，其中第二扣体320固定在承载板110底部，所述第一扣体310和第二扣体320的一侧通过弹性连接件330相连，第一扣体310和第二扣体320的另一侧分别设置有相互配合卡接的第一卡件340和第二卡件350，所述弹性连接件330的弹力使得第一卡件\n340和第二卡件350具有相互远离的趋势。其中弹性连接件330呈V字型结构，其中弹性连接件330包括呈V字型结构的第一连接部331和第二连接部332，第一连接部331和第二连接部\n332之间光滑过渡，且第一连接部331和第二连接部332分别与第一扣体310和第二扣体320相连。本实施例中第一卡件340和第二卡件350结构相同，且对称设置，其中第一卡件340包括与第一扣体310相连的竖直段31，竖直段31的端部设置有向外延伸的卡接段32，卡接段32呈挂钩形状，第二卡件350包括与第二扣体320相连的竖直段31，竖直段31的端部设置有向内延伸的卡接段32，第一卡件340和第二卡件350上的卡接段32相互卡合。\n[0034] 本实用新型所述实例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型构思和范围进行限定，在不脱离本实用新型设计思想的前提下，本领域工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的保护范围。

暂无