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高对比度光栅垂直腔面发射激光器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022680543.6
  • IPC分类号:H01S5/028;H01S5/183
  • 申请日期:
    2020-11-17
  • 申请人:
    深圳博升光电科技有限公司
著录项信息
专利名称高对比度光栅垂直腔面发射激光器
申请号CN202022680543.6申请日期2020-11-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S5/028IPC分类号H;0;1;S;5;/;0;2;8;;;H;0;1;S;5;/;1;8;3查看分类表>
申请人深圳博升光电科技有限公司申请人地址
广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼2604 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳博升光电科技有限公司当前权利人深圳博升光电科技有限公司
发明人廖文龙;沈志强;祁继鹏
代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)代理人郭栋梁
摘要
本申请公开了一种高对比度光栅垂直腔面发射激光器,包括依次从下至上设置的第一反射器层、有源层、第二反射器层及光栅层,该光栅层上依次设置有的图案化的第一保护层及第二保护层,该光栅层设置为包括光栅条的图案化膜层,该第一保护层覆盖该光栅条,该第一保护层与第二保护层存在刻蚀选择比。本申请实施例通过在光栅层上设置存在刻蚀选择比的保护层,使得对外侧保护层进行选择性刻蚀,对芯片的部分结构进行保护时,由于存在的刻蚀选择比从而能够有效完整的保持内部的保护层的完整性,实现内侧保护层对光栅条的保护,提高了发射激光器的稳定性。

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