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大幅面激光标刻太阳能电池的方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610063759.X
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L31/20
  • 申请日期:
    2006-12-31
  • 申请人:
    李毅
著录项信息
专利名称大幅面激光标刻太阳能电池的方法及装置
申请号CN200610063759.X申请日期2006-12-31
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2008-07-02公开/公告号CN101211993
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;2;0查看分类表>
申请人李毅申请人地址
广东省深圳市福田区八卦四路先科机电大厦534室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人李毅当前权利人李毅
发明人李毅;李全相
代理机构深圳市毅颖专利商标事务所代理人张艺影;李奕晖
摘要
本发明公开了一种大幅面激光振镜扫描系统,用激光标刻太阳能电池,属于非晶硅薄膜太阳能电池制造技术领域。本发明是以提高非晶硅薄膜太阳能电池产品的标刻速度和精度为目的。技术特征是:电脑程序控制,幅面为400mm-600mm激光振镜扫描系统,激光标刻、定位坐标点,采用多幅面或单幅面标刻方式生产非晶硅薄膜太阳能电池,启动激光振镜扫描系统时,X-Y交联平台处于暂停状态。X或Y轴丝杆单向位移推进m或n等分标刻区域。其效果,高速标刻大幅面非晶硅薄膜太阳能电池的最大线速度400g/min,能标刻复杂图形。机械平台重量及运行速度不影响微小标刻路径的精度,生产效率高,成本低。

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