一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011526862.X
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2020-12-22
申请人：
苏州京浜光电科技股份有限公司

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专利名称	一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法
申请号	CN202011526862.X	申请日期	2020-12-22
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-04-27	公开/公告号	CN112710244A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	苏州京浜光电科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州京浜光电科技股份有限公司	当前权利人	苏州京浜光电科技股份有限公司
发明人	增田博志;贺力伟
代理机构	苏州圆融专利代理事务所（普通合伙）	代理人	郭珊珊

摘要

本发明公开了一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法，包括以下步骤：提供彩色滤光片；在彩色滤光片的基板的表面覆盖透明有机薄膜；通过椭圆偏光法测量在参考物体上的薄膜厚度；照明光照射参考物体及测量物体，以获得来自参考物体及测量物体的反射光的各自的光谱强度；基于参考物体上的所述薄膜的所述厚度，计算参考物体的光谱反射系数，并参照参考物体的光谱反射系数获得测量物体的光谱反射系数；根据测量物体的光谱反射系数获得测量物体上的薄膜的厚度。本发明，检测设备简单；且检测精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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