并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法及其装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200610085349.5
IPC分类号：G02F1/35
申请日期：
2006-06-12
申请人：
江苏大学

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著录项信息

专利名称	并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法及其装置
申请号	CN200610085349.5	申请日期	2006-06-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-15	公开/公告号	CN1862354
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/35 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/35 非线性光学〔2，5〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;3;5查看分类表>
申请人	江苏大学	申请人地址	江苏省镇江市丹徒路301号江苏大学内变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏大学	当前权利人	江苏大学
发明人	周明;杨海峰;蔡兰
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	汪旭东

摘要

并行飞秒激光双光子光聚合微纳加工方法和装置，属于微纳加工技术，首先，开启泵浦激光器，将其产生的激光引入到飞秒激光器的谐振腔中，经振荡后产生的飞秒超短脉冲激光通过再生放大器将能量放大；然后，放大后的激光经过全反镜、衰减镜、光闸后，由光纤耦合器将其耦合到光纤阵列中，由微透镜阵列将飞秒激光聚焦到放置在盖玻片上的光敏树脂中，盖玻片固定在三维扫描平台上，整个加工过程由CCD监控，三维扫描平台的微动调节通过计算机控制系统控制连接于三维扫描平台上的驱动器来实现。

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