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一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201420596588.7
  • IPC分类号:B08B3/12;B08B3/02
  • 申请日期:
    2014-10-15
  • 申请人:
    易德福
著录项信息
专利名称一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置
申请号CN201420596588.7申请日期2014-10-15
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/12IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;0;2查看分类表>
申请人易德福申请人地址
江西省抚州市高新区金?大道198号孵化器创业园A7栋3楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江西德义半导体科技有限公司当前权利人江西德义半导体科技有限公司
发明人易德福;吴城
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)代理人汤东凤
摘要
本实用新型公开了一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置,包括在底板上依次设置的陶瓷盘装载部、超声波循环槽、多个溢流水槽、喷干槽和陶瓷盘卸载部。整个清洗过程是在常温下进行,陶瓷盘表面的蜡无挥发,不会危害大气环境和影响员工身体健康。采用超声波及多道溢流槽清洗工艺,清洗更全面,不会造成蜡残留,影响再次抛光晶片的平整度。采用高温压缩空气吹干,不会造成水渍残留。全自动操作,相较于人力操作,大大节约清洗时间,提高生产效率。并且本装置设备占用空间远小于传统工艺,大大节约生产成本。

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