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高频高压低温等离子体发生系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910242167.1
  • IPC分类号:H02M7/5387;H02M5/10;H05H1/24
  • 申请日期:
    2019-03-28
  • 申请人:
    苏州大学
著录项信息
专利名称高频高压低温等离子体发生系统
申请号CN201910242167.1申请日期2019-03-28
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-05-31公开/公告号CN109831112A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H02M7/5387IPC分类号H;0;2;M;7;/;5;3;8;7;;;H;0;2;M;5;/;1;0;;;H;0;5;H;1;/;2;4查看分类表>
申请人苏州大学申请人地址
江苏省苏州市相城区济学路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州大学当前权利人苏州大学
发明人吴迪;伍远博;陶智;陈大庆;黄敏;顾中浩;徐超;周长伟;江均均
代理机构苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人叶栋
摘要
本发明涉及一种高频高压低温等离子体发生系统,系统包括控制电路、零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路,控制电路用于向零电压软开关驱动电路输送控制信号,零电压开关驱动电路接收控制信号并将控制信号逆变为交流信号并通过零电压软开关驱动电路进行第一次升压处理后发送第一升压信号至高频谐振升压电路,高频谐振升压电路接收第一升压信号并对第一升压信号作第二次升压处理。通过在系统中加入零电压软开关驱动电路及高频谐振升压电路,将控制信号变成第一升压信号,该第一升压信号经高频谐振升压电路升压后形成高压电场,最终在高压电场内稳定形成低温等离子体,达到高效率、低损耗且低温产生等离子体的效果。

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