基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200520013985.8
IPC分类号：G01D5/26
申请日期：
2005-08-11
申请人：
浙江大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器
申请号	CN200520013985.8	申请日期	2005-08-11
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/26 采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光	IPC分类号	G;0;1;D;5;/;2;6查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	孙淼;何赛灵;时尧成;戴道锌
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林怀禹

摘要

本实用新型公开了基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器。依次包括输入波导，1×2光功分器、两个非对称马赫曾德臂、2×1合波器，输出波导连接而成。本实用新型的马赫曾德干涉仪的两个臂—参考臂和测量臂分别采用两种宽度不同的波导，波导采用脊型光波导结构，待测液体作为光波导的覆盖层，待测液体折射率的变化引起的参考臂和测量臂的相位变化不等，从而在输出端引起干涉。通过测量最终的输出能量，可以测量响应的折射率变化。本实用新型采用非对称马赫曾德臂直接引入相位差，无需刻蚀液体槽，大大简化工艺难度，无需套刻工艺，同时拥有与传统马赫曾德型传感器比拟的特性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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