一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样

发明专利有效专利

申请号：
CN202110340876.0
IPC分类号：G01R31/26;G01R1/04
申请日期：
2021-03-30
申请人：
长江存储科技有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样
申请号	CN202110340876.0	申请日期	2021-03-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-09	公开/公告号	CN113092977A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;R;1;/;0;4查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	王志强
代理机构	北京派特恩知识产权代理有限公司	代理人	高天华;张颖玲

摘要

本申请实施例提供一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样，其中，经时击穿测试结构至少包括：电源电压焊垫、至少一个分压元件和测试焊垫；所述电源电压焊垫与所述至少一个分压元件连接，所述电源电压焊垫用于提供电源电压；所述分压元件用于对所述电源电压进行分压处理，得到多个不同的电压点；每一所述电压点与待测样品中的一个测试单元的一端连接，且每一所述测试单元的另一端与所述测试焊垫连接；所述测试焊垫用于输出所述待测样品在不同的所述电压点下，电流随时间的变化规律，以实现通过所述变化规律确定所述待测样品的经时击穿测试结果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供