一种用于透射电镜系统的样品杆及相应透射电镜系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201910982417.5
IPC分类号：G01Q30/02;G01Q30/20
申请日期：
2019-10-16
申请人：
中国科学院物理研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于透射电镜系统的样品杆及相应透射电镜系统
申请号	CN201910982417.5	申请日期	2019-10-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-30	公开/公告号	CN111856078A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q30/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q30/00 用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置〔2010.01〕 G01Q30/02 非SPM的分析装置，例如，SEM〔扫描电子显微镜〕，分光计或光学显微镜〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;3;0;/;0;2;;;G;0;1;Q;3;0;/;2;0查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三街8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	马超杰;刘畅;刘开辉;王恩哥;白雪冬
代理机构	北京泛华伟业知识产权代理有限公司	代理人	王勇

摘要

本发明提供一种用于透射电镜系统的样品杆，其特征在于，所述样品杆(12)包括：前端头和样品杆本体；其中，所述前端头的第一端与所述样品杆本体相接，所述前端头的第二端上安装有样品，所述样品杆本体内部具有从其一端延伸到另一端并对向所述前端头上所述样品的光纤(21)。在本发明的透射电镜系统中，首先激光经偏振分光棱镜分成物光波和参考光波，其中物光波经过样品杆的光纤之后与参考光波在图像采集器件处发生离轴干涉，然后经数值重建得到物光波的共轭相位信息，并加载至空间光调制器，实现光波的时间反演，进而在透射电镜系统中的实现激光聚焦及其自动扫描。

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