薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220189601.8
IPC分类号：H01L31/18;C30B33/10
申请日期：
2012-04-28
申请人：
中国电子科技集团公司第二研究所

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著录项信息

专利名称	薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件
申请号	CN201220189601.8	申请日期	2012-04-28
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;3;0;B;3;3;/;1;0查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第二研究所	申请人地址	山西省太原市和平南路115号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第二研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第二研究所
发明人	苗岱;岳军;杜虎明;杨杰;卫晓冲;张峰;康冬妮;贾娟芳
代理机构	山西科贝律师事务所	代理人	陈奇

摘要

本实用新型公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽（1），在矩形底槽（1）中套接有架高的刻蚀槽（2），在骨架（11）上设置有匀水板（12），在匀水板（12）上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管（9）的一端连通，刻蚀液下入液管（9）的另一端与入液总管（10）连通，在匀水板（12）上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊（7）、辊轮组（13）和送出辊（8），在辊轮组（13）的上方设置有刻蚀液喷淋管，在矩形底槽（1）的底部设置有动态排液管（27）。实现了自动化生产，提高了刻蚀质量。

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