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光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210350148.9
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2012-09-18
  • 申请人:
    天津芯硕精密机械有限公司
著录项信息
专利名称光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法
申请号CN201210350148.9申请日期2012-09-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-01-23公开/公告号CN102890429A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人天津芯硕精密机械有限公司申请人地址
天津市滨海新区开发区黄海路167号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津芯硕精密机械有限公司当前权利人天津芯硕精密机械有限公司
发明人陈修涛
代理机构安徽合肥华信知识产权代理有限公司代理人余成俊
摘要
本发明公开了一种光刻系统中倾斜扫描下提高数据读取速度的方法,包括以下步骤:根据倾斜因子N确定一行数据的大小,并计算在一个Row地址下能存储的数据行数;重新排布动态同步存储器DDR2或DDR3地址的顺序,将Row地址放在最高位,这样换Row的次数将减到最小;根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系,将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下;按行依次读取数据,并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据,存储在动态同步存储器DDR2或DDR3之中。本发明的方法使得动态同步存储器DDR2或DDR3读取数据尽可能在同一个Row地址中排布,提高读写效率。

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