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一种不锈钢表面离子渗硅装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520574188.0
  • IPC分类号:C23C10/08
  • 申请日期:
    2015-08-03
  • 申请人:
    贵州电力试验研究院
著录项信息
专利名称一种不锈钢表面离子渗硅装置
申请号CN201520574188.0申请日期2015-08-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C10/08IPC分类号C;2;3;C;1;0;/;0;8查看分类表>
申请人贵州电力试验研究院申请人地址
贵州省贵阳市解放路251号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人贵州电力试验研究院当前权利人贵州电力试验研究院
发明人陈俊卫;牧灏;蒋震
代理机构武汉天力专利事务所代理人程祥
摘要
本实用新型公开一种不锈钢表面离子渗硅装置,包括具有抽气口和硅烷气体进口的真空腔体;真空腔体内设有阴极腔体和不锈钢靶,阴极腔体通过绝缘材料与真空腔体连接,不锈钢靶位于阴极腔体上方并通过绝缘材料与阴极腔体连接,真空腔体内设有与不锈钢靶面接触的引弧针,引弧针通过控制线圈与直流电源连接;阴极腔体内通有冷却水,阴极腔体内设有控弧永磁铁,控弧永磁铁位于不锈钢靶后并浸泡在冷却水中;阴极腔体和真空腔体通过稳弧电源连接。本实用新型设备易操作,同时制备温度较低,能耗较小的优点,且根据使用要求可以改变渗硅气体流量以控制渗入的硅含量。

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