晶圆测试数据处理方法及设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010001401.4
IPC分类号：G01R31/26;G06K9/62
申请日期：
2020-01-02
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	晶圆测试数据处理方法及设备
申请号	CN202010001401.4	申请日期	2020-01-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-06-02	公开/公告号	CN111220889A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;6;K;9;/;6;2查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	金国秀;吴继君
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	袁义科;臧建明

摘要

本发明实施例提供一种晶圆测试数据处理方法及设备，该方法包括获取晶圆测试数据，对所述第一测试项的测试数据进行预处理，获得所述第一测试项的时间序列数据，通过线性回归模型，根据所述第一测试项的时间序列数据计算所述第一测试项对应于当前测试时间点的第一漂移度，判断所述第一漂移度是否满足预设条件，若满足，则发出第一漂移预警。本发明实施例能够省去设定大量的控制上限和控制下限等限值的繁琐工作，并且通过线性回归模型对每个测试项多个测试时间点的测试数据进行拟合，得到对应于当前测试时间点的漂移度，能够实现对长期参数漂移的预警，从而提高预警准确度。

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