引出阳离子束的灯丝气体离子源装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721873529.X
IPC分类号：H01J37/08;H01J37/317
申请日期：
2017-12-26
申请人：
广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学

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专利名称	引出阳离子束的灯丝气体离子源装置
申请号	CN201721873529.X	申请日期	2017-12-26
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/08 离子源；离子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;8;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学	申请人地址	广东省广州市经济技术开发区骏功路22号之一（1）栋201自编1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广州今泰科技股份有限公司,华南理工大学	当前权利人	广州今泰科技股份有限公司,华南理工大学
发明人	苏东艺;彭继华
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	黄华莲;郝传鑫

摘要

本实用新型涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种引出阳离子束的灯丝气体离子源装置，包括第一离化筒、第二离化筒和电源装置，第一离化筒的一端设有第一进气口且第一离化筒的另一端设有第一逸出口，第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，第二离化筒的一端与第一逸出口连通，第二离化筒的另一端设有第二逸出口，第一离化筒内设有灯丝组件，第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈；第二离化筒的侧壁与电源装置的正极电连接，第一离化筒和第二离化筒绝缘。本实用新型能够提高气体离化效率并避免杂质原子污染被加工工件，还能引出更纯的阳离子束。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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