改进型抛光衬垫和它们的应用方法

发明专利无效专利

申请号：
CN95190278.4
IPC分类号：--
申请日期：
1995-03-30
申请人：
罗德尔公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	改进型抛光衬垫和它们的应用方法
申请号	CN95190278.4	申请日期	1995-03-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1996-07-10	公开/公告号	CN1126455
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	罗德尔公司	申请人地址	美国特拉华州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗德尔控股公司	当前权利人	罗德尔控股公司
发明人	李·梅尔布尔尼·库克;约翰·Ｖ·Ｈ·罗伯茨;查尔斯·威廉·詹金斯;拉易·拉加夫·皮莱
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杜日新

摘要

本发明提供一种由固态均匀聚合物薄片(5)组成的改进型抛光衬垫。上述薄片没有本征的吸收或输送研浆颗粒的能力，在应用期间有表面纹理或图形。它们具有同时存在的大(7)小(6)流通通路。这两种通路允许穿越抛光衬垫表面输送研浆。其中上述通路并不是材料构成的一部分而是用机械性方法制作到衬垫表面上的。在本发明的一个最佳形式中，衬垫纹理由粗纹理和细纹理组成。粗纹理在使用之前制作，细纹理则在衬垫使用期间在一个固定的经过选择的工作间隔用许多小的研磨尖状物进行研磨制作的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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