粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201810793761.5
IPC分类号：B28D1/22;B28D1/24;B28D5/02;B28D7/02;B28D7/04;C03B33/03;C03B33/023
申请日期：
2018-07-18
申请人：
三星钻石工业股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置
申请号	CN201810793761.5	申请日期	2018-07-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-12	公开/公告号	CN109318376A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D1/22 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D1/00 不包含在其他类目中的石头或类似石头的材料，例如砖、混凝土的加工；所用的机械、装置、工具（宝石、宝石饰物，水晶的精加工入B28D 5/00；磨削或抛光加工入B24；用于精整或修整研磨面的装置或方法入B24B 53/00） B28D1/22 通过切割，例如切开	IPC分类号	B;2;8;D;1;/;2;2;;;B;2;8;D;1;/;2;4;;;B;2;8;D;5;/;0;2;;;B;2;8;D;7;/;0;2;;;B;2;8;D;7;/;0;4;;;C;0;3;B;3;3;/;0;3;;;C;0;3;B;3;3;/;0;2;3查看分类表>
申请人	三星钻石工业股份有限公司	申请人地址	日本国大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星钻石工业股份有限公司	当前权利人	三星钻石工业股份有限公司
发明人	上野勉;高松生芳;西尾仁孝
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	肖茂深

摘要

本发明提供一种能够减轻基板加工过程中的粉尘等微小异物的飞散而防止粉尘附着于基板从而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置(15A)防止在基板加工装置中的加工部位产生的粉尘的飞散，且具备：罩(15)，其以隔开空间的方式覆盖对基板(W)进行加工的加工部；以及减压机构，其始终对罩(15)内的空间进行减压，该减压机构通过抽吸罩(15)内的气体的气体真空机构(19)来进行减压。

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