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一种背表面钝化的方法以及一种制作太阳能电池的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110363814.8
IPC分类号：H01L31/18
申请日期：
2011-11-16
申请人：
浚鑫科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种背表面钝化的方法以及一种制作太阳能电池的方法
申请号	CN201110363814.8	申请日期	2011-11-16
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-22	公开/公告号	CN103117324A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	浚鑫科技股份有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中建材浚鑫科技有限公司	当前权利人	中建材浚鑫科技有限公司
发明人	孙伟
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	逯长明

摘要

本发明实施例公开了一种背表面钝化的方法以及一种制作太阳能电池的方法，应用于太阳能电池生产领域。本发明实施例的方法包括：在硅片背表面印刷铝电场；烘干背表面；在背表面的铝电场上沉积氮化硅膜；在背表面的氮化硅膜上印刷电极；烘干背表面。本发明实施例能够加强背表面钝化。

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