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非接触式运送装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710152972.2
  • IPC分类号:B65G49/05;B65H5/22;B25J15/06;H01L21/677
  • 申请日期:
    2007-09-29
  • 申请人:
    SMC株式会社
著录项信息
专利名称非接触式运送装置
申请号CN200710152972.2申请日期2007-09-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-05-07公开/公告号CN101172540
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G49/05IPC分类号B;6;5;G;4;9;/;0;5;;;B;6;5;H;5;/;2;2;;;B;2;5;J;1;5;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人SMC株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人SMC株式会社当前权利人SMC株式会社
发明人杨清海;高桥克彰;细野正行;中野和夫
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人张兆东
摘要
本发明公开一种非接触式运送装置。具有供给端口(46)的内部构件(14)被安装到壳体(12)的内部,壳体(12)与内部构件(14)通过连接螺栓(16)连接到一起。空气被输送到内部构件(14)的供给端口(46),并经连通通道(50)被引流到环形通道(48)中。而后,空气被从与环形通道(48)连通的多个引出孔(64)沿旋流方向向外引流到面对着工件(W)的环形凹槽(62)中。此外,通过使空气沿环形凹槽(62)流动,可将工件保持在相对于内部构件(14)的支持表面(40)不接触的状态下,其中,环形凹槽的横截面被制成大体上为梯形。

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