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一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310506547.4
  • IPC分类号:C23F11/173
  • 申请日期:
    2013-10-24
  • 申请人:
    中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院
著录项信息
专利名称一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法
申请号CN201310506547.4申请日期2013-10-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-04-29公开/公告号CN104562035A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23F11/173IPC分类号C;2;3;F;1;1;/;1;7;3查看分类表>
申请人中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院申请人地址
北京市朝阳区朝阳门北大街22号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国石油化工股份有限公司,中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院当前权利人中国石油化工股份有限公司,中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院
发明人王鑫;孙鹏;刘纾言
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供了一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法,包括如下组分:甲基苯基含氢聚硅氧烷、2‑巯基苯并噻唑、羟基苯并噻唑、氯铂酸异丙醇溶液、亚磷酸酯类化合物、溶剂A和溶剂B。本发明含硅缓蚀剂组合物制备方法为将甲基苯基含氢聚硅氧烷、2‑巯基苯并噻唑和羟基苯并噻唑加入到溶剂A中,在70~80℃时滴加氯铂酸异丙醇溶液,在氮气保护下反应4~10小时,反应混合物去除溶剂后,得到一次产物M;将一次产物M加入溶剂B中,然后加入亚磷酸酯类化合物,在50~80℃,搅拌1~5小时,即得本发明缓蚀剂。本发明缓蚀剂组合物具有更好的热稳定性、环境适应性和更强的吸附成膜特性,用量低、持续抗腐蚀性好。

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