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回收废光刻胶剥离剂的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201580012366.3
IPC分类号：G03F7/42
申请日期：
2015-07-10
申请人：
株式会社LG化学

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	回收废光刻胶剥离剂的方法
申请号	CN201580012366.3	申请日期	2015-07-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-10-26	公开/公告号	CN106062638A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/42 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/42 剥离或剥离剂〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;4;2查看分类表>
申请人	株式会社LG化学	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社LG化学	当前权利人	株式会社LG化学
发明人	朴泰文;郑大哲;李东勋;李佑然;李贤浚;金周永
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	顾晋伟;苏虹

摘要

本发明涉及回收废光刻胶剥离剂的方法，所述方法包括以下步骤：使包含40重量％到75重量％的至少一种胺化合物、20重量％到55重量％的亚烷基二醇化合物、以及1重量％到10重量％的添加剂的回收液体接触废光刻胶剥离剂的纯化液体。

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