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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种紫外曝光装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120129524.2
  • IPC分类号:G02B27/09;G02B6/00;G02B3/00
  • 申请日期:
    2011-04-28
  • 申请人:
    朱小明
著录项信息
专利名称一种紫外曝光装置
申请号CN201120129524.2申请日期2011-04-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B27/09IPC分类号G;0;2;B;2;7;/;0;9;;;G;0;2;B;6;/;0;0;;;G;0;2;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人朱小明申请人地址
江苏省苏州市吴中区郭巷镇郭新东路77号保利观湖国际5幢704室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朱小明当前权利人朱小明
发明人朱小明
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种光斑面积可调节且能量分布均匀的紫外曝光装置。同时发射紫外线和可见光的光源、传导紫外线和可见光的导光管、紫外线光学透镜依次设置。其特征在于,紫外线和可见光以大于0°小于180°的夹角射入导光管,在导光管内混合,并在导光管出射端形成能量分布均匀的光场。通过观察可见光光斑,调节紫外线光学透镜与导光管出射端的焦距,可以形成面积可调节的、能量分布均匀的紫外线光斑。该结构可以过滤掉光源产生的大部分红外线,有效保护被曝光物体。该结构可以使曝光光斑达到肉眼可直接观察的亮度,便于观察曝光过程。

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