成膜装置及成膜装置的水分去除方法发明专利
申请号：CN202110175222.7
LOC分类号:C23C14/34
IPC结构图谱：
- A人类生活必需
- A6保健；救生；娱乐
- A61医学或兽医学；卫生学
- A61L材料或消毒的一般方法或装置；空气的灭菌、消毒或除臭；绷带、敷料、吸收垫或外科用品的化学方面；绷带、敷料、吸收垫或外科用品的材料（以所用药剂为特征的机体保存与灭菌入A01N；食物或食品的保存，如灭菌入A23；医药、牙科或梳妆用的配制品入A61K）〔4〕
- A61L2/00食品或接触透镜以外的材料或物体的灭菌或消毒的方法或装置；其附件（消毒剂喷雾器入A61M；包装或与包装结合的包装内容物的消毒入B65B55/00；水、废水、污水或淤泥的处理入C02F；纸的灭菌入D21H21/36；洗手间的灭菌器具入E03D；消毒用的物品，见该物品的相关小类，如H04R1/12）〔3，5，7〕
- A61L2/16应用化学物质〔3〕
- A61L2/18液态物质〔3〕
