固晶机

发明专利有效专利

申请号：
CN202110153582.7
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
申请日期：
2021-02-04
申请人：
深圳新益昌科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	固晶机
申请号	CN202110153582.7	申请日期	2021-02-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-08	公开/公告号	CN112928052A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	深圳新益昌科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳新益昌科技股份有限公司	当前权利人	深圳新益昌科技股份有限公司
发明人	胡新平
代理机构	深圳中一联合知识产权代理有限公司	代理人	徐汉华

摘要

本申请提供了一种固晶机，包括机架、支架供料组件、支架移载组件、晶环供料组件、晶环旋转组件、顶晶组件、晶环移载组件、吸嘴、固晶摆臂组件、吸嘴收供组件和收料组件。通过支架供料组件可将支架供应至支架移载组件上，通过晶环移载组件可将晶环供料组件上的晶环移送至晶环移载组件上，并将晶环旋转组件上使用后的晶环移除，通过顶晶组件可将晶环上的晶片顶出至供晶位，通过吸嘴及固晶摆臂组件可将供晶位处的晶片移送至支架移载组件上，完成晶片与支架的固晶作业。通过晶环移载组件可实现晶环上料与下料的同步作业，减少了晶环上下料的等待时长，有助于提高固晶效率。而且，通过吸嘴收供组件可实现对吸嘴的自动更换作业，省时省力，效率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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