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含氢钌氧化物、电子器件及钌氧化物物性的调控方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811161233.4
  • IPC分类号:H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14
  • 申请日期:
    2018-09-30
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称含氢钌氧化物、电子器件及钌氧化物物性的调控方法
申请号CN201811161233.4申请日期2018-09-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-04-07公开/公告号CN110970549A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L43/06IPC分类号H;0;1;L;4;3;/;0;6;;;H;0;1;L;4;3;/;1;0;;;H;0;1;L;4;3;/;1;4查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市海淀区清华园1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学当前权利人清华大学
发明人于浦;李卓璐;沈胜春
代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司代理人刘诚
摘要
本申请提供了一种含氢钌氧化物、电子器件及钌氧化物物性的调控方法。本申请通过对钌氧化物物性的调控方法制备出所述含氢钌氧化物。所述含氢钌氧化物的结构式为其中,A为碱金属元素、碱土金属元素和稀土金属元素中的一种或多种,B为Ru或者Ru的金属掺杂物,其中Ru的金属掺杂物可以是Ru与Ti、Mn、Cr、Fe、Ni、Mo、W、Ir、V、Co、Rh、Al、Sc、Zn或者Cu中的一种或多种,pm+qn+y=2x,m≥0,n>0,x>0,y>0,1≤p≤3,2<q≤8。所述含氢钌氧化物大幅度的改变了钌氧化物的性质,拓宽了钌氧化物的应用前景。

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