一种机台管路进水的侦测报警装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420084195.8
IPC分类号：B24B37/34;G01F15/06
申请日期：
2014-02-26
申请人：
上海华力微电子有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种机台管路进水的侦测报警装置
申请号	CN201420084195.8	申请日期	2014-02-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/34 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/34 附件〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;G;0;1;F;1;5;/;0;6查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	宋恺;张弢;蒋德念
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	吴俊

摘要

本实用新型提供一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其中，包括：研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接；气阀，所述气阀安装在所述马达的上端；抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。使用本实用新型一种机台管路进水的侦测报警装置，当Vac管路中有水滴进入，流量侦测器发出“on”信号以触发机台端报警，以便让工程师知道清楚进水的Vac管路，及时处理，避免机台的隐患。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供