晶圆表面宏观检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022278851.6
IPC分类号：G01D21/00
申请日期：
2020-10-14
申请人：
东舟技术（深圳）有限公司

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著录项信息

专利名称	晶圆表面宏观检测装置
申请号	CN202022278851.6	申请日期	2020-10-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D21/00 未列入其他类目的测量或测试	IPC分类号	G;0;1;D;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东舟技术（深圳）有限公司	申请人地址	北京市海淀区东北旺西路8号中关村软件园8号楼一层109、109B号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京东舟技术股份有限公司	当前权利人	北京东舟技术股份有限公司
发明人	夏儒斐
代理机构	深圳茂达智联知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种晶圆表面宏观检测装置，晶圆吸盘，开设有气道；自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，升降组件设于支撑杆上，升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。本实用新型提供的晶圆表面宏观检测装置，可实现晶圆多个方向的旋转，方便对晶圆进行宏观检测，提高生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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