集成电路可靠度测试方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210349321.3
IPC分类号：G01R31/28
申请日期：
2012-09-19
申请人：
瑞鼎科技股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	集成电路可靠度测试方法
申请号	CN201210349321.3	申请日期	2012-09-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-11-06	公开/公告号	CN103383429A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/28 电路的测试，例如用信号故障寻测器（在准备运算或空闲时间期间内测试计算机入G06F11/22）	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	瑞鼎科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市科学工业园区力行路23号2楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瑞鼎科技股份有限公司	当前权利人	瑞鼎科技股份有限公司
发明人	黄耀生;谢其文
代理机构	中国商标专利事务所有限公司	代理人	宋义兴;周伟明

摘要

本发明提供一种集成电路可靠度测试方法，包含下列步骤：于晶圆基板形成复数个集成电路；将晶圆基板置入测试装置，使复数个集成电路与测试装置之测试电路耦接；提供测试条件给测试装置，测试条件包含常态操作温度、压力操作温度、常态操作电压、压力操作电压、活化能以及机台参数；使用测试装置以测试条件同时地对复数个集成电路进行测试，并持续测试时间；当复数个集成电路经过测试时间仍全部正确工作时，提供信心参数值；以及根据测试条件包含的各条件的数值以及信心参数值获得集成电路预估寿命。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供