用于硅片碱腐蚀加工的夹具

发明专利有效专利

申请号：
CN201110231799.1
IPC分类号：C30B33/10;C23F1/08;C23F1/32
申请日期：
2011-08-14
申请人：
上海合晶硅材料有限公司

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著录项信息

专利名称	用于硅片碱腐蚀加工的夹具
申请号	CN201110231799.1	申请日期	2011-08-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-08	公开/公告号	CN102345171A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/08 侵蚀〔5〕 C30B33/10 在溶液或熔体内〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;1;0;;;C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;2;3;F;1;/;3;2查看分类表>
申请人	上海合晶硅材料有限公司	申请人地址	上海市松江区石湖荡镇长塔路558号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海合晶硅材料股份有限公司	当前权利人	上海合晶硅材料股份有限公司
发明人	黄春峰;李强
代理机构	上海脱颖律师事务所	代理人	李强

摘要

本发明公开了一种用于硅片碱腐蚀加工的夹具，包括支撑框，支撑框设置有放置片架的通孔；支撑框上安装有提架，其特征在于，所述提架包括至少两根与支撑框垂直的连杆，两根连杆端部通过横杆连接；还包括压条，所述压条可靠近支撑框或远离支撑框运动地安装在提架上。本发明中的用于硅片碱腐蚀加工的夹具，可方便地调整压框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便将片架装配在支撑框上。调整压框的位置时，只需沿着连杆推动压框即可，调整方便。压框上安装有限位块，限制压框的移动距离，可防止用力过大时压坏硅片。使用本发明中的夹具，硅片碱腐蚀良率可达到99.8%以上。

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