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使用振膜中嵌入的Ti-W引线吸气剂的CMOS压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201510404305.3
IPC分类号：G01L9/06;G01L1/18
申请日期：
2015-07-10
申请人：
ams国际有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	使用振膜中嵌入的Ti-W引线吸气剂的CMOS压力传感器
申请号	CN201510404305.3	申请日期	2015-07-10
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-01-27	公开/公告号	CN105277309A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L9/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L9/00 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L 13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L 15/00） G01L9/02 利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计 G01L9/06 压电电阻器件的	IPC分类号	G;0;1;L;9;/;0;6;;;G;0;1;L;1;/;1;8查看分类表>
申请人	ams国际有限公司	申请人地址	瑞士拉珀斯维尔镇变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ams国际有限公司	当前权利人	ams国际有限公司
发明人	威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林;马特吉·戈森斯;皮特·杰勒德·斯蒂内肯;雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格;马藤·奥尔德森;卡斯珀·范德阿奥斯特
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	王波波

摘要

多种实施例涉及一种压力传感器，包括：压力敏感振膜，悬置在腔体上，其中通过一组锚结构将所述振膜固定到衬底；以及吸气剂材料，嵌入在所述振膜中，其中所述吸气剂表面接触腔体内的任何气体，并且通过能够将通过吸气剂材料的电流传导通过衬底的锚结构来将吸气剂材料的两端点附着到所述衬底。

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