首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

用于化学机械抛光承载头的外部夹环

发明专利有效专利

申请号：
CN201610833897.5
IPC分类号：B24B37/27;H01L21/306
申请日期：
2016-09-20
申请人：
应用材料公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于化学机械抛光承载头的外部夹环
申请号	CN201610833897.5	申请日期	2016-09-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-07-21	公开/公告号	CN106965077A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/27 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/27 工件载体〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;7;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	帕特里克·阿拉;丁博;胡永其;西蒙·亚沃伯格;麦特斯·拉尔森
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

本发明描述了用于具有疏水涂层的化学机械抛光(CMP)承载头的外部夹环，和具有所述外部夹环的承载头。在一个实施方式中，提供一种包括圆柱体的外部夹环，所述圆柱体具有外圆柱壁和内圆柱壁。疏水层被设置在外圆柱壁上。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供